①工藝氣體：一般在等離子清洗中，可把活化氣體分為兩類，一類為惰性氣體的等離子體（如Ar2、N2等）：另一類為反應性氣體的等離子體（如O2、H2、含氟氣體等）。以氬等離子為例，在一個物理過程中，在氬等離子中產生的離子會以足夠的能量輻射表面，去掉表面污物。帶正電的氬等離子將被吸引到在真空艙體的負極板。由于高能等離子撞擊，撞擊力足以去除表面上的任何污垢，隨后污垢通過真空泵以氣體形式排出。

　　②氣體流量：工藝艙體壓力與氣流速度、產品排氣率和泵速成函數關系。艙體內氣體接入量的不同，造成產生等離子體的密度不同，從而影響處理效果。

　　③功率：通過提高等離子清洗機處理的功率，可增加等離子體的密度和能量，從而加快等離子處理的速度。等離子體密度是單位體積內所包含的等離子體的數量。等離子體能量定義了等離子體進行表面物理轟擊的能力。

　　④時間：工藝時間的長短與功率、氣體流量和氣體類型相關。以在PBGA基板上提高引線的鍵合能力為例，一個短時間的等離子處理，引線的鍵合強度相對于未處理前只提高了2%：但是將處理時間增加1/3，引線的鍵合強度將比未處理前提高20%。這里應該指出的是，過長的工藝時間并不總是可以提高材料的表面活性。從提高生產效率這方面出發，還應盡量減少工藝時間，這在大批量生產中尤為重要。

　　實際上，在整個等離子處理過程中，影響處理效果的要素還包括過程溫度、氣體分配、真空度、電極設置、靜電保護等等。

　　等離子清洗機表面處理處理工藝的特點是能對任何材質的材料進行處理，如金屬、半導體、氧化物和大多數高分子有機聚合物（聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、聚四氟乙烯）等材料，并可實現整體、局部和復雜結構的表面處理。處理后的重要效果之一是提高基材表面的活性（附著力）。不同的元器件和材料在進行等離子處理時，需要根據具體情況和實驗數據制定適合的相關工藝。